目前的硅基半导体芯片在进入10nm之后越来越难以生产，预计2nm到1nm节点就有可能面临无法继续的问题，半导体行业也在积极开发新技术，比如硅光子芯片技术，而ASML公司所在的荷兰就大举投资77亿元研发硅光子技术。
在硅基芯片时代，ASML公司最终成为半导体行业中的王者，尤其是EUV光刻机独一份，5nm及以下节点都要依赖ASML的EUV光刻机，现在售价就要10亿一台了，再下一代的高NA光刻机售价要涨到19亿以上了。
如果未来硅光子芯片快速取代硅基芯片，那ASML公司显然会失去领先的地位，这也是为什么荷兰巨资投资硅光子技术引人注意的关键，希望下一个ASML还是掌握在他们手里。
根据他们的投资计划，总投资为11亿欧元，约合77.3亿人民币，其中4.71亿欧元的投资来自荷兰政府，接下来是荷兰的两所大学Eindhoven理工大及Twente大学，资金则会由荷兰基金机构Delta Photon 负责管理。
据悉，跟现在的硅基芯片相比，硅光子芯片是基于硅和硅基衬底材料（如 SiGe／Si、SOI 等），利用现有 CMOS 工艺进行光器件开发和集成的新一代技术，结合了集成电路技术的超大规模、超高精度制造的特性和光子技术超高速率、超低功耗的优势，被认为是摩尔定律失效之后的颠覆性技术。
目前主要的半导体大国都在积极研发硅光子技术，其中Intel、IBM等公司在这个领域已经取得重要进展，国内也在大力发展硅光子技术。