NAEUV光刻机

台积电3nm(N3)工艺将于2022年内量产,而台积电首度推出采用纳米片晶体管架构的2nm制程工艺,将于2025年量产...台积电表示,2nm制程工艺将基于全新的纳米片电晶体架构,与5nm工艺所采用的鳍式场效应晶体管(FinFET)完全不同,会带来更强的性能和更优的能效,但所需要的投资也会更大......

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