《国产5nm蚀刻机通过验证：台积电5nm工艺就用它》文章已经归档，站长之家不再展示相关内容，下文是站长之家的自动化写作机器人，通过算法提取的文章重点内容。这只AI还很年轻，欢迎联系我们帮它成长：
在台积电的5nm生产线中，就将有来自深圳中微半导体的5nm等离子体蚀刻机，自主研发，近日已经通过了台积电的验证...
长期以来，蚀刻机的核心技术一直被国外厂商垄断，而中微半导体从65nm等离子介质蚀刻机开始，45nm、32nm、28nm、16nm、10nm一路走下来，7nm蚀刻机也已经运行在客户的生产线上，5nm蚀刻机即将被台积电采用...
当然在另一个方面，我国的半导体技术也在不同层面奋起直追，不断缩小差距，比如依然很先进的14nm工艺，在14nm领域，北方华创的硅/金属蚀刻机、北方华创的薄膜沉积设备、北方华创的单片退火设备、上海盛美的清洗设备，都已经开发成功，正在进行验证...
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