中国无锡，2025年9月4日 —— 在第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC2025）上，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称 “中微公司”，股票代码:688012.SH)宣布重磅推出六款半导体设备新产品。这些设备覆盖等离子体刻蚀(Etch)、原子层沉积(ALD)及外延(EPI)等关键工艺
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