在进入20nm节点之后，内存工业也面临着CPU工艺一样的制造难题，微缩越来越困难，制造工艺复杂，导致内存成本居高不下。如今7nm以下的处理器用上了EUV光刻机，内存很快也要跟进了，SK海力士计划在韩国M16工厂引入EUV工艺。与目前大量在用的DUV光刻相比，EUV光刻机可以减少多重曝光工
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