【TechWeb】5月27日消息，泰晶科技最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备全自动晶圆调频及测选机，近日又取得新突破，该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测，配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。该设备采用特定的光谱取代原有光源，使用全新的测试线路及测量方式，大幅提高了设备的精度及效率。目前使用设备频率调整精度可达5PPM，合格率98.5%以上，各项指标达到国际先进水平。拥有自主知识产权的设备研发，经过设备升?...
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