发展

在SEMICON China 2026期间,中微公司推出四款覆盖硅基及化合物半导体关键工艺的新产品:新一代电感耦合ICP刻蚀设备Primo Angnova™、高选择性刻蚀机Primo Domingo™、Smart RF Match智能射频匹配器以及蓝绿光Micro LED量产MOCVD设备Preciomo Udx®。这些产品丰富了公司在刻蚀、薄膜沉积及核心智能零部件领域的产品组合与系统化解决方案能力,夯实了平台化发展基础,助力公司在规模化拓展进程中实现高质量发展。...

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