阿斯麦在官网上表示，上周一的火灾，发生在柏林工厂的一栋建筑中，火灾中的烟雾，部分影响到了相邻的建筑，受影响建筑的部分生产已能恢复，其他未受影响的建筑，已全面运营...火灾影响的损坏评估仍在进行中，但阿斯麦方面表示，从目前的情况来看，他们计量和检测产品的产出计划将不会受到影响，因为没有相关的部件在柏林工厂生产...虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产，但阿斯麦位于柏林的工厂，生产DUV和EUV光刻机的部分部件，这两类光刻机部分部件的生产，在火灾中都受到了影响...柏林工厂受火灾影响仍未恢复的，是EUV光刻机一个零部件的生产区域，恢复计划仍在进行中，他们已决定采取相关的措施，将对EUV光刻机客户、产出计划及服务的潜在影响降到最低......
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