中国上海，2024年5月28日——近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司(以下简称“中微公司”，股票代码:688012)推出自主研发的12英寸高深宽比金属钨沉积设备Preforma Uniflex® HW以及12英寸原子层金属钨沉积设备Preforma Uniflex® AW。这是继Preforma Uniflex® CW之后，中微公
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