低温等离子体

这是因为每两年可装入计算机芯片的晶体管数量增加了一倍左右,从而产生了数十亿个原子尺度的晶体管,其可以装入一个指甲大小的设备...在跟全球芯片制造设备生产商Lam Research Corp.签订的合作研究与开发协议下进行的第一项PPPL研究中,实验室科学家通过使用建模正确预测了原子级芯片生产中的一个基本阶段...PPPL的科学家们则对“原子层蚀刻”进行了建模...该模型模拟了依次使用氯气和氩气等离子体离子来控制原子尺度上的硅蚀刻过程.........

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