站长之家 - 动态 2018-12-02 18:05

中国芯片制造迈出一大步!中科院造出紫外超分辨光刻机

《中国芯片制造迈出一大步!中科院造出紫外超分辨光刻机》文章已经归档,站长之家不再展示相关内容,下文是站长之家的自动化写作机器人,通过算法提取的文章重点内容。这只AI还很年轻,欢迎联系我们帮它成长:

微细加工光学技术国家重点实验室主任,国家973计划首席科学家,曾获2016年度国家技术发明一等奖,2017年中国工程院院士增选有效候选人,国家杰出青年科学基金获得者,中组部首批万人计划科技领军人才、2009年“新世纪百千万人才工程”国家级人选,2004年中科院“百人计划”入选者,中国光学学会、美国光学学会、国际光学工程学会、国际光电子与激光工程学会四大学会成员...

7年来,项目组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量和超精密、多自由度工件台及控制等关键技术,完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制,其采用365纳米波长光源,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米...

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