先进制造尤其是半导体制造的本质,是在纳米尺度上对抗不确定性。任何一道工艺参数的漂移,都可能引发良率滑坡。而传统品质管理体系的困境在于,数据越积越多,决策却越来越慢。例如,在一座12吋晶圆厂里,质量工程师每天要在MES、SPC、QMS等七八套系统之间协作。SPC告警响起,他们
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