随着半导体产线生产工艺流程越来越复杂，产线设备间的传统物料搬运方式，已经成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。为此，AMHS自动物料搬运系统应运而生，在半导体晶圆制造环节的应用开始逐渐普及。AMHS系统的特点与应用价值主要体现在:高可靠性、高自动化与信息化、高效率、高度灵活
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