与台积电、三星相比，Intel在EUV光刻机上跟进的较晚，但是今年也要追上来了，有分析称Intel已经有10到12台EUV光刻机，明年的14代酷睿将首发Intel 4 EUV工艺。
EUV光刻机是目前半导体生产中最先进也是最复杂的装备，售价约合10亿一台，只有荷兰ASML公司能够生产，虽然客户也只有Intel、台积电、三星这三家，但现在还是供不应求，去年生产了55台，预计2025年产能提升到每年90台。
尽管价值不菲，但是EUV光刻机不仅能够制造先进工艺芯片，同时还能减少工艺步骤，降低复杂度，意味着芯片成本更低，产能更大，在5nm之后的工艺生产中极为重要。
I目前的Intel 10及Intel 7工艺都没有使用EUV光刻机，Intel会在Intel 4工艺上首发EUV工艺，首款处理器是14代酷睿Meteor Lake，2023年上市，而且也是Intel首款采用3D封装的桌面处理器。
14代酷睿的进度要取决于Intel的EUV工艺进展，有爆料称Intel目前大约有10-12台EUV光刻机，现在主要在俄勒冈州的D1X晶圆厂及研发中心，这也是Intel最早量产Intel 4 EUV工艺的工厂，再往后是位于爱尔兰的晶圆厂，后面也会量产Intel 4工艺。
虽然10-12台EUV光刻机听着不多，但是实际的产能不小，EUV光刻机每小时处理的晶圆数在160-220个左右，平均200个来算，一年中24小时不停生产就有170万晶圆，足够生产数千万芯片，10台以上的总量足够Intel生产未来的处理器了。