站长之家- 传媒 2021-09-14T14:20:21 +08:00

至纯集团成功导入NTT DATA之 EXC-MES进行数字化生产

高新技术企业上海至纯科技新建的「合肥至微微电子有限公司」(以下简称至微),已于近日投产。此为中国首座12英吋晶圆再生厂,由NTT DATA成功导入MES制造执行系统,数字化管理整个生产过程,涵括生产进度、制程、质量、耗材、设备、载具、警报管理等,并导入制造决策平台,使至微能满足高端晶圆客户的严格要求。

着眼于国家正全力发展半导体产业,至纯科技2020年决定投资10亿元人民币(一期),在半导体企业集聚的合肥市成立「合肥至微微电子」公司,兴建晶圆再生和半导体零部件再生厂,未来年产能将达168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生。而晶圆再生是重要焦点,它以满足14纳米晶圆厂再生晶圆为设计基础,是中国半导体高阶市场首条投产的12英吋晶圆再生产线。

为了高效管理晶圆再生制程及满足客户严格的要求,至纯科技决定委托NTT DATA为该厂导入MES系统。NTT DATA 的MES产品EXC-MES,首先能同时以个别硅片ID(wafer ID) / 批次ID(Lot ID)/ 承载ID(Carrier ID)等三个层次,贯穿整个晶圆再生的制造管理;其次完整提供晶圆再生所需的各项功能模块。例如:质量模块能解析机台抛送出来的检测数据,进行合规及SPC管制,并进行不良品处理;而在物料模块,可提供物料批的领退料,工单发放自动扣料;在设备管理方面,除了提供预防保养、维修等管理功能外,对于设备运行状态的监视,也精细到设备Port(端口)及Chamber(室);并可计算及监管设备上材料的耗用;而在包装上,则能依照客户要求的成品多维度分等标准,进行复杂的自动分等。

MES也大幅提高了生产线状况的透明度和传送速度。NTT DATA一方面运用制造决策平台,将至微各管理阶段所需信息以战情广告牌和管理报表呈现。另一方面则提供警报系统,对于重大异常或提醒事件,透过E-mail、系统推播等方式发送给相关人员,加速事件的处理。

晶圆再生制程是通过去除控挡片晶圆表面的杂质和缺陷,使处理后的晶圆达到新片的标准,实现循环再利用,进而为企业节约大量成本。这次NTT DATA能为至微晶圆再生厂成功导入MES,一方面是至微各主管在过程中的全力支持,另一方面则是NTT DATA 的产品EXC-MES 能提供贴近产业需求的完整功能,并且拥有深刻了解产业制程的专业顾问,与至微主管深入讨论最合适的解决方案。

2017年在上海证交所上市的至纯科技,二十余年来致力于为高端制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案,广泛应用于半导体、微电子、生物医药、太阳能、TFT-LCD、LED等领域。另外至纯科技也致力推广湿法清洗设备及服务,是中国该领域的领先者,能提供8/12英吋的单片与槽式的各种湿法制程设备,工艺能力可达到14nm的规格,已有数十台的装机量。

据了解,目前合肥至微的晶圆再生产能基本已被客户全数预定,除了合肥当地的长鑫、晶合,也包含周边的无锡、南京、武汉、上海等地的晶圆厂。这些企业之前大多送到日本、台湾地区进行晶圆再生,目前能在合肥进行晶圆再生,预计可为客户节省30%的成本。

关于NTT DATA中国

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