高新技术企业上海至纯科技新建的「合肥至微微电子有限公司」(以下简称至微)，已于近日投产。此为中国首座12英吋晶圆再生厂，由NTT DATA成功导入MES制造执行系统，数字化管理整个生产过程，涵括生产进度、制程、质量、耗材、设备、载具、警报管理等，并导入制造决策平台，使至微能满
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